区域选择性沉积（ASD）的光诱导力显微镜成像分析

光诱导力显微镜（PiFM）对有机与无机材料均具有卓越的检测能力，这一点在原子层沉积（ALD）工艺的样品分析中得到验证：该工艺中有机自组装单分子层（SAMs）作为精确掩膜，可实现特定区域的沉积控制。

如下例所示，自组装单分子层选择性覆盖金属区域，使氧化铝（Al₂O₃）优先沉积于暴露的氧化物区域。PiFM成像通过特征红外吸收峰（1103、1471和972 cm⁻¹）成功区分二氧化硅（SiO₂）、自组装单分子层与氧化铝区域。其中二氧化硅的化学分布图呈现出尤其尖锐的高对比度信号，而自组装单分子层与氧化铝虽显示略弱的局域化分布，但仍可在浓度差异区域观察到明显对比度。