多层堆叠结构截面分析

基于硅基底生长的多层堆叠结构通过解理制备截面后，采用光诱导力显微镜（PiFM）进行成像分析。在下图所示的三个检测位点中，凭借各材料独特的特征红外吸收带，成功区分并凸显出三种不同材料。PiFM卓越的空间分辨率在”材料1″的检测中得到充分体现——该技术清晰呈现出形貌图中无法辨别的超薄层结构。