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Semiconductor Applications
亲水性表面羟基终端的测定
背景 为实现高…
半导体工艺中亚20纳米缺陷与超薄（约1纳米厚）残留物的分析
背景 随着半导…
超薄原子层沉积薄膜的纳米尺度化学与形貌表征
原子层沉积（AL…
纳米化学表征技术揭示单分子层表面功能化中的涂层缺陷
背景 表面修饰…
原子级加工
随着集成电路器…
红外光诱导力显微镜（IR PiFM）截面分析技术
多层异质材料体…
t-BOC化学放大光刻胶中潜在EUV图形的PiFM成像
在t-BOC光刻胶…
热辅助磁记录设备的光诱导力显微镜与多模态成像分析
对热辅助磁记录…
多层堆叠结构截面分析
基于硅基底生长…
区域选择性沉积（ASD）的光诱导力显微镜成像分析
光诱导力显微镜…
埋置于导电层中的银纳米线结构
保护层下方的银…
基于介电常数的化学机械抛光光诱导力显微镜可视化分析
对经过化学机械…