基于介电常数的化学机械抛光光诱导力显微镜可视化分析

对经过化学机械抛光（CMP）处理的样品进行光诱导力显微镜（PiFM）成像。虽然金属本身不具有红外活性，但借助其在不同波长下介电常数的差异仍可实现识别。如下列图像所示，PiFM成功区分了金属、阻挡金属及氧化物区域，并呈现出与形貌特征的对应关系。