Vista 200
半导体专用
Vista 200具有200mm×200mm的样品台，非常适合分析晶圆或光掩模。Vista 200可以配置带磁铁的真空吸盘或专用的EUV掩模支架。该仪器非常适合 4英寸、6英寸或8英寸晶圆。
功能强大且无损
PiFM在真正的非接触模式下运行。仪器不会接触您的原始样品，因此它们会保持洁净，吸头也是如此。
简化流程
我们随附的数据分析软件可让您的团队快速完成从测量到演示结果的整个过程。与我们的数据采集软件紧密集成，让您能够实时获得所需的答案。我们的脚本 API 允许自定义配方，并且我们的文件是开放的，因此与第三方软件的集成很容易。
卓越的原子力显微镜性能
我们的AFM配备 120μm xy扫描仪、12μm样品z扫描仪和集成隔振，是一流的。高带宽双z反馈系统允许IR PiFM的真正非接触式AFM。
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专为工业而生
最大限度地提高效率，最大限度地减少中断
300mm宽的样品检修门可最大限度地减少导致漂移的热干扰，同时最大限度地提高通量。借助我们的前向移动载物台和用户友好的头戴式安装，无需打开整个外壳即可轻松更换吸头和样品。
一体化系统
不需要特殊的环境。Vista 200配有内置隔振装置、精度为0.1 ºC的温控隔音罩以及带有干燥空气的全封闭光束路径。
终极光谱纳米镜技术
PiFM · PiF-IR
低于5nm的红外空间分辨率
PiFM化学成像为分析表面化学提供了无与伦比的横向红外分辨率。
基本纤维素原纤维嵌入云杉木细胞壁的木质素基质中。扫描尺寸：150 nm × 150 nm × 10.5 nm。
单分子水平灵敏度
PiF-IR
PiF-IR光谱(洋红色和绿色)显示了这些肽类纳米片碎片上的化学差异。
PiFM
PiFM化学图谱能够检测出仅比周围材料高0.5nm的类肽片段！
扫描尺寸: 500 nm × 500 nm × 1.7 nm。
规格
载物台和扫描仪
样品台尺寸: 200 mm × 200 mm 方形
扫描尺寸: 120 µm × 120 µm
双Z反馈: 12μm z轴扫描仪和600nm快速z轴扫描仪提供高带宽和大z轴范围
功能性
成像模式: 非接触式AFM、PiFM、KPFM、cAFM、纳米DMA、FvD(力与距离)映射
光谱模式: PiF-IR, FvD
PiF 激光器选项: QCL (770 – 1840, 1995 – 2395 cm−1), OPO/DFG (590 – 2050, 2250 – 4400, 5000 – 7000 cm−1)
探测深度 (IR): 表面模式下为20nm，散装模式下大于100nm
尺寸要求
工作台尺寸: 建议使用1.2m× 1.8m(4 英尺×6 英尺)光学试验板
外壳: 300mm×200mm尺寸的检修门可最大限度地减少热漂移。外壳可拆卸，无需断开电缆
Specifications
Stage and scanner
Sample stage travel: 200 mm × 200 mm square.
Scan size: 120 µm × 120 µm.
Dual Z Feedback: 12 µm z-scanner with 600 nm fast-z scanner provides both high bandwidth and a large z-range
Functionality
Imaging modes: Non-contact AFM, PiFM, KPFM, cAFM, nano DMA, FvD (force vs distance) mapping.
Spectroscopy modes: PiF-IR, FvD.
PiF Laser Options: QCL (770 – 1840, 1995 – 2395 cm−1), OPO/DFG (590 – 2050, 2250 – 4400, 5000 – 7000 cm−1).
Depth probed (IR): 20 nm in surface mode & greater than 100 nm in bulk mode.
Physical requirements
Table size: 1.2 m × 1.8 m (4 ft × 6 ft) optical breadboard recommended.
Enclosure: 300 mm × 200 mm access door minimizes thermal drift. The enclosure is removable without disconnecting cables.