Vista 300
行业领先的自动化水平
Vista 300是面向纳米加工研发与失效分析领域最先进的纳米化学计量仪器。
AutoPiFM
AutoPiFM可从零生成完整数据集，包括所有检测到的化学成分的固定波数光诱导力显微镜（PiFM）图像，以及各化学相的光诱导力红外光谱（PiF-IR）。只需静待AutoPiFM完成全部工作！
自动校准
行业首创！激发激光的关键对准现通过计算机视觉执行，确保结果最优化、减少培训需求并节省时间。
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紧凑型结构
凭借自动光束对准与集成多路复用器，我们将激光器集成于主机下方。此举实现了无性能妥协的紧凑型设计。Vista 300支持最多两个激光器，覆盖全红外光谱范围（详见技术规格）。
受控环境
效率最大化，干扰最小化
400毫米宽的样品舱门使您能在最大化通量的同时，最小化导致漂移的热扰动。绝缘金属外壳确保声学隔离与0.1°C内的温度稳定性，且兼容洁净室环境。
规格参数
样品台与扫描器
样品台行程: 300 mm × 300 mm (方块区域)
扫描尺寸: 90 µm × 90 µm
双Z反馈系统: 12 µm行程Z扫描器搭配600 nm高速Z扫描器，兼具高带宽与大Z轴行程
功能性
成像模式: 非接触原子力显微镜（AFM）、光诱导力显微镜（PiFM）、开尔文探针力显微镜（KPFM）、导电原子力显微镜（cAFM）、纳米动态力学分析（nano DMA）、力-距离曲线映射（FvD）
光谱模式: 光诱导力红外光谱（PiF-IR）、力-距离曲线（FvD）
PiF 激光选项: 量子级联激光器（QCL，770–1840 cm⁻¹ / 1995–2395 cm⁻¹）、光学参量振荡器/差频发生器（OPO/DFG，590–2050 cm⁻¹ / 2250–4400 cm⁻¹ / 5000–7000 cm⁻¹）
探测深度(红外): 表面模式20 nm，体相模式大于100 nm
物理要求
系统尺寸: 约1.1 m × 1.1 m × 1.5 m（3英尺7.3英寸 × 3英尺7.3英寸 × 4英尺11英寸）
舱体设计: 400 mm × 200 mm access door最大限度减少热漂移。舱体可拆卸且无需断开电缆连接
Specifications
Stage and scanner
Sample stage travel: 300 mm × 300 mm square.
Scan size: 90 µm × 90 µm.
Dual Z Feedback: 12 µm z-scanner with 600 nm fast-z scanner provides both high bandwidth and a large z-range
Functionality
Imaging modes: Non-contact AFM, PiFM, KPFM, cAFM, nano DMA, FvD (force vs distance) mapping.
Spectroscopy modes: PiF-IR, FvD.
PiF Laser Options: QCL (770 – 1840, 1995 – 2395 cm−1), OPO/DFG (590 – 2050, 2250 – 4400, 5000 – 7000 cm−1).
Depth probed (IR): 20 nm in surface mode & greater than 100 nm in bulk mode.
Physical requirements
System dimensions: Approximately 1.1 m × 1.1 m × 1.5 m (3’ 7.3” × 3’ 7.3”× 4’11”)
Enclosure: 400 mm × 200 mm access door minimizes thermal drift. The enclosure is removable without disconnecting cables.