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层状形成嵌段共聚物薄膜中的线条粗糙度
Ruiz, R., Wan, L., Lopez, R., Albrecht, T.
Macromolecules
Abstract
本研究针对聚（苯乙烯-b-甲基丙烯酸甲酯）对称嵌段共聚物薄膜中的线条粗糙度现象，提出可拟合与描述观测到的线条边缘、宽度及位置粗糙度的唯象模型。基于对称嵌段共聚物的层状结构特性，我们在描述双层膜热涨落模型的基础上，新增了相分离体系中体相组分涨落项。采用双层膜的蠕动模式与波动模式分别描述宽度粗糙度与位置粗糙度，并引入相邻畴区间的关联性以捕捉交替畴间的串扰效应。研究发现，该模型可复现嵌段共聚物薄膜功率谱密度（PSD）中观测到的主要特征，为理解纳米光刻相关体系中影响线条粗糙度的物理特性提供了基准模型。